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技术支持

关于洁净室气流
发布时间:2019-06-11   点击次数:98次

关于洁净室气流

洁净室的洁净度往往受到气流的影响,即人、机器隔间、建筑结构等产生的尘埃的移动、扩散受到气流的支配。一般洁净室气流速度是选0.25-0.5m/s之间,此流速属微风区域,易受人、机器等的动作干扰趋于混乱,为了使洁净洁净度处于达标状态保持洁净室气流的均一性就显得尤为重要

 

例:垂直层流式方向要保持均一气流须做到:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一一般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

 

应注意的是,一般操作台或生产设备等表面的气流分流点应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,这样的话作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;如果分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

 

此外,洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在附近洁净度将会差,我们可以在在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减低;另外组装材料选择是否恰当、设备布局是否完善,也是气流是否成为涡流现象重要因素。

 

了解更多洁净室气流的知识可参照宏瑞科技前期文章【洁净室气流流型的检测目的和方法】。

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